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日本Orion半導體濕法水冷型藥液用溫度調節機ETN23A-N介紹

更新時間：2026-05-11      瀏覽次數：18
日本オリオン機械株式會社（Orion Machinery Co., Ltd.）生產的“藥液用溫度調節機 Chemical Peltatherm（水冷型）"該設備主要用于半導體濕法工藝中對藥液進行高精度溫度控制。

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以下是該產品的詳細總結：

產品概述

  • 產品名稱：藥液用溫度調節機 Chemical Peltatherm（水冷型）

  • 產品系列：ETD（電源單元）與 ETN（冷熱單元）系列

  • 核心功能：直接對濕法工藝中的藥液進行高精度溫度調節。

  • 主要特點：

    • 接液部采用全特氟龍（Teflon/PTFE/PFA）熱交換器，耐腐蝕性強。

    • 業界最輕量、緊湊設計。

    • 采用專用開關電源。

核心規格參數

該設備由“電源單元"和“冷熱單元"組成一套系統，具體參數如下表所示：

1. 冷熱單元 (ETN Series) 性能參數

項目規格詳情
對應藥液DIW, DHF, BHF, FPM, SC1 (根據濃度及未列明藥液需咨詢)
溫度控制范圍15～50℃ (50℃以上需咨詢)
控制精度±0.1℃ (視條件而定)
冷卻/加熱能力ETN23A-N: ~280W / ~600W
ETN45A-N: ~460W / ~1,000W
ETN90A-N: ~920W / ~2,000W
散熱方式水冷式
藥液側耐壓0.3 MPa
藥液側材質PTFA, New PFA

2. 電源單元 (ETD Series) 規格

  • 電源要求：單相 200～240V (50/60Hz)

  • 控制方式：PID控制 + 自動調諧 (Auto-tuning)

  • 型號對應：

    • ETD232-SA-A-G2 (對應 ETN23A-N)

    • ETD452-SA-G2 (對應 ETN45A-N)

    • ETD832-SA-G2 (對應 ETN90A-N)

外形尺寸與重量

單元類型型號重量 (約)外形尺寸 (高×奧行×寬 mm)
冷熱單元ETN23A-N10 kg220 × 330 × 147

ETN45A-N14 kg220 × 330 × 147

ETN90A-N28.5 kg260 × 530 × 145
電源單元ETD2325.0 kg165 × 430 × 140

ETD45210 kg215 × 460 × 165

ETD83218 kg305 × 470 × 240

其他特性

  • 溫度傳感器：標配 Pt100 (JIS 0.2級) ，可選特氟龍模制傳感器。

  • 環境要求：使用周圍溫度范圍為 15～35℃。

  • 特殊選項：

    • 可內置控制用溫度傳感器（特制對應）。

    • 提供連接電纜的延長線選項。



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