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美國(guó) entegris 在線氣體過(guò)濾器 II F Mini XL 在氣板、氣柜以及晶圓處理中需要超純氣體的任何地方進(jìn)行卓的越的顆粒過(guò)濾。 1.緊湊型裝置減少了整體氣箱占地面積，節(jié)省了寶貴的設(shè)備空間 2.PTFE 膜提供高效過(guò)濾，提高產(chǎn)品產(chǎn)量 3.低壓降降低了低蒸氣壓氣體凝結(jié)的風(fēng)險(xiǎn) 4.與各類(lèi)半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性 5.適用于惰性氣體和活性氣體，包括臭氧

美國(guó) entegris 在線 PTFE 氣體過(guò)濾器 MAX-1000 這些在線氣體過(guò)濾器采用 由 PFA 結(jié)構(gòu)和 316L 不銹鋼外殼支撐的 PTFE 膜， 在超純氣體應(yīng)用中提供 卓的越的顆粒過(guò)濾。 1.過(guò)濾面積大，過(guò)濾效率提高 3 倍，壓降低，流量大 2.與當(dāng)前過(guò)濾器相同的長(zhǎng)度尺寸允許輕松實(shí)施，而無(wú)需更改氣體面板或輸送系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。 3.過(guò)濾器使用壽命延長(zhǎng)，比上一代長(zhǎng) 3 倍