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美國(guó) entegris 在線氣體過(guò)濾器 GTL 可靠地去除惰性氣體中的顆粒，流速高達(dá) 80 slpm。 1.提供高效、低成本的惰性氣體使用點(diǎn)過(guò)濾 2.去除直徑大于 0.0015 µm 的所有顆粒，去除率 99.9999999% Wafergard® GTL 在線氣體過(guò)濾器應(yīng)用 1.低空氣進(jìn)氣過(guò)濾器 2.潔凈干燥空氣（CDA） 3.晶圓傳送系統(tǒng)

美國(guó) entegris 微型直列式氣體過(guò)濾器 II F 這些氣體過(guò)濾器適用于惰性氣體和活性氣體，與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性，并且易于安裝在狹窄的氣體面板和機(jī)柜中。 1.PTFE 膜提供高效過(guò)濾 2.低壓降降低了低蒸氣壓氣體凝結(jié)的風(fēng)險(xiǎn) 3.與各類半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性 4.適用于惰性氣體和活性氣體，包括臭氧

美國(guó) entegris 在線氣體過(guò)濾器 MAX HT 適用于高溫、超純氣體應(yīng)用的卓的越顆粒過(guò)濾。 1.專為高達(dá) 200°C (392°F) 的高溫 TEOS 和高 k 應(yīng)用而設(shè)計(jì) 2.整體設(shè)計(jì)（148 毫米 [5.82 英寸]）是類似過(guò)濾器的直接替代品 3.緊湊的尺寸適合許多現(xiàn)有的輸送系統(tǒng)，并提供設(shè)計(jì)靈活性和多功能性 4.特殊烘烤可快速啟動(dòng)氣體輸送 5.低壓差提供穩(wěn)定且更好的物料輸送

美國(guó) entegris 在線氣體過(guò)濾器 II F Mini XL 在氣板、氣柜以及晶圓處理中需要超純氣體的任何地方進(jìn)行卓的越的顆粒過(guò)濾。 1.緊湊型裝置減少了整體氣箱占地面積，節(jié)省了寶貴的設(shè)備空間 2.PTFE 膜提供高效過(guò)濾，提高產(chǎn)品產(chǎn)量 3.低壓降降低了低蒸氣壓氣體凝結(jié)的風(fēng)險(xiǎn) 4.與各類半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性 5.適用于惰性氣體和活性氣體，包括臭氧

美國(guó) entegris 在線 PTFE 氣體過(guò)濾器 MAX-1000 這些在線氣體過(guò)濾器采用 由 PFA 結(jié)構(gòu)和 316L 不銹鋼外殼支撐的 PTFE 膜， 在超純氣體應(yīng)用中提供 卓的越的顆粒過(guò)濾。 1.過(guò)濾面積大，過(guò)濾效率提高 3 倍，壓降低，流量大 2.與當(dāng)前過(guò)濾器相同的長(zhǎng)度尺寸允許輕松實(shí)施，而無(wú)需更改氣體面板或輸送系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。 3.過(guò)濾器使用壽命延長(zhǎng)，比上一代長(zhǎng) 3 倍