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更新時間：2026-06-10簡要描述：SCREEN VM-1020顯微鏡式光學干涉膜厚測量儀，這是一款專為研發（R&D）設計的顯微鏡型測量設備，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解決方案。
| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
高速高精度測量：采用光纖輸入型 CCD 光譜儀，能夠同時測量全波段光譜，配合高性能 CPU 進行高速運算，可立即顯示膜厚數值。
操作簡便：系統內置“配方向導"功能，極大地簡化了復雜配方的創建過程，同時改進了配方的注冊與管理。
專為研發設計：其顯微鏡結構使其特別適合在研發環境中進行精確的局部測量。
多層膜測量：支持 25 種類型的層狀薄膜測量（UV 模式下支持 29 種），并可同時測量最多 四層 的層狀薄膜。
光譜分析：能夠測量光譜反射率。
數據可視化：提供測量數據的三維映射圖及其他統計輸出。
蝕刻率計算：可計算蝕刻速率。
自定義功能：允許用戶注冊新的薄膜類型。
| 項目 | 詳細參數 |
|---|---|
| 產品名稱 | VM-1020 |
| 產品類型 | 光譜膜厚測量系統 |
| 適用場景 | 研發（R&D） |
| 晶圓尺寸 | 50mm - 300mm |
SCREEN VM-1020顯微鏡式光學干涉膜厚測量儀，這是一款專為研發（R&D）設計的顯微鏡型測量設備，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解決方案。
SCREEN VM-1020顯微鏡式光學干涉膜厚測量儀，這是一款專為研發（R&D）設計的顯微鏡型測量設備，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解決方案。
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